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氮化硅制品的生產(chǎn)工藝都有哪些

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反應(yīng)燒結(jié)法生產(chǎn)氮化硅制品是將磨細(xì)的硅粉(粒度一般小于80μm),用機(jī)壓或等靜壓成型,坯體干燥后,在氮?dú)庵屑訜?350~1400℃,在燒成過程中同時(shí)氮化而制得。采用這種生產(chǎn)方法,原料條件和燒成工藝及氣氛條件對(duì)制品的性能有很大的影響